电子芯片厂房装配式华夫板方案设计及有限元分析

温凌燕; 聂鑫; 卢世杰; 刘博文; 孟姣; 袁思遥

doi:10.3724/j.gyjzG24090904

电子芯片厂房装配式华夫板方案设计及有限元分析

doi: 10.3724/j.gyjzG24090904

1. 中国电子工程设计院股份有限公司, 北京 100142;
2. 清华大学土木工程系, 北京 100084;
3. 中建三局第一建设工程有限责任公司, 武汉 430040

详细信息

作者简介:
温凌燕，正高级工程师，主要从事超限复杂建筑抗震减振、建筑工业化方向研究，wenlingyan@ceedi.cn。

通讯作者:
孟姣，博士研究生，主要从事钢-混凝土组合结构方向研究，mengj22@126.commengj22@126.com。

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出版历程
- 收稿日期: 2024-09-09
- 网络出版日期: 2026-02-26
- 刊出日期: 2026-01-22

Design and Finite Element Analysis of Prefabricated Waffle Slabs for Electronic Chip Manufacturing Plants

1. China Electronics Engineering Design Institute Co., Ltd., Beijing 100142, China;
2. Department of Civil Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China;
3. China Construction Third Bureau First Engineering Co., Ltd., Wuhan 430040, China

摘要

摘要: 依托上海某电子芯片厂房项目，提出了一种整体装配式华夫板结构。通过有限元建模，计算叠合板拼缝深度和活载质量对楼板自振频率、刚度、原位频响函数的影响。随着叠合板拼缝深度的增加，华夫板同阶自振频率、刚度降低，楼盖振动响应增大，且叠合板拼缝深度越大，各个指标变化越快。当叠合板深度在100 mm以内时，华夫板动刚度、频响函数曲线峰值的变化在5%以内，证明了装配式混凝土华夫板方案的适用性。活载质量有利于楼盖对速度、加速度的控制，但不影响动刚度。采用单自由度体系推导的公式能够较准确地估算考虑活载后楼盖结构的位移、速度、加速度频响函数，可在工程中使用。
- 芯片厂房 /
- 华夫楼盖 /
- 装配式 /
- 有限元法 /
- 频响函数 /
- 动刚度
Abstract: Based on an electronic chip factory project in Shanghai， an integrated prefabricated waffle slab system has been proposed. Using finite element modeling， the effects of joint depth and live load mass on the natural frequency， stiffness， and in-situ frequency response function of the floor slab were analyzed. The results showed that as the joint depth in the waffle slab increased， the natural frequency of the same order and the stiffness of the waffle slab decreased， while the vibration response of the floor increased. Moreover， the greater the joint depth， the more rapidly these indicators changed. When the joint depth was within 100 mm， the variations in the stiffness and peak frequency response function of the waffle slab remained within 5%， indicating the feasibility of the prefabricated concrete waffle slab system. The live load mass contributed to controlling the speed and acceleration responses of the floor but did not affect its dynamic stiffness. The formula derived from a single-degree-of-freedom system can accurately estimate the displacement， velocity， and acceleration frequency response functions of the floor structure under live loads and is recommended for practical engineering applications.
- chip plants /
- waffle slab /
- prefabricated /
- finite element method /
- frequency response function /
- dynamic stiffness

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参考文献(12)

[1]	GRIESSING J，JARNIG H. Cleanroom sea of lots concept［J］. European Semiconductor，1997，19：33-33.
[2]	梁军，周林，刘磊，等. 芯片生产厂房大跨超重钢桁架楼面高效施工技术［J］. 建筑技术开发，2024，51（6）：58-60.
[3]	洪明. 12英寸集成电路芯片厂房的防微振设计案例分析［J］. 电子技术，2019，48（1 ）：78-81.
[4]	胡艳飞，刘俊，谭潜等. 电子厂房防微振响应分析及优化研究［J］. 建筑结构，2023，53（增刊1）：831-837.
[5]	郭欣，王晓旭. 浅析机载电子类精密加工厂房防微振动设计［J］. 建筑技艺，2022（增刊1）：134-135.
[6]	黄江，任青，李溢. 精密厂房微振动的控制研究［J］. 中国水运，2022，22（1）：156-158.
[7]	GORDON C. Generic criteria for vibration-sensitive equipment［J］. Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering，1992，1619：71-85.
[8]	聂建国，陈必磊，陈戈，等. 钢筋混凝土叠合板的试验研究［J］. 工业建筑，2003，33（12）：43-46.
[9]	杨悦，姜雪蔚，聂鑫，等. 开槽密拼混凝土叠合板受力性能试验研究［J］. 建筑结构学报，2023，44（7）：142-151.
[10]	罗斯，牛红霞，张睿，等. 大型电子洁净厂房格构梁施工技术［J］. 工程建设与设计，2023（5）：174-178.
[11]	陈德洋，叶建，王亚桥，等. 超大电子洁净厂房华夫板奇氏桶施工技术［J］. 施工技术，2019，48（18）：16-19.
[12]	刘庆，王磊，张焱. 开槽型密拼叠合楼板的生产与应用关键技术［J］. 上海建材，2024（3）：65-71.